全球与中国EUV光罩缺陷检测设备市场动向观察及前景预测研究报告2024-2030年

★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★

【全新修订】：2024年12月

【出版机构】：中智信投研究网

【内容部分有删减·详细可参中智信投研究网出版完整信息！】

【报告价格】：[纸质版]:6500元 [电子版]:6800元 [纸质+电子]:7000元 (可以优惠）

【服务形式】: 文本+电子版+光盘

【联 系 人】：顾滢滢   李雪

免费售后 服务一年，具体内容及订购流程欢迎咨询客服人员

2023年全球EUV光罩缺陷检测设备市场规模大约为1423百万美元，预计未来六年年复合增长率CAGR为14.3%，到2030年达到3341百万美元。

本文从全球视角下看EUV光罩缺陷检测设备行业的整体发展现状及趋势。重点调研全球范围内EUV光罩缺陷检测设备主要厂商及份额、主要市场（地区）及份额、产品主要分类及份额、以及主要下游应用及份额等。

本文包含的核心数据如下：

全球市场EUV光罩缺陷检测设备总体收入，2019-2024，2025-2030（百万美元）

全球市场EUV光罩缺陷检测设备总体销量，2019-2024，2025-2030（件）

全球市场EUV光罩缺陷检测设备前五大厂商市场份额（2023年，按销量和按收入）

目前来看，光学检测是半导体检测技术中的主流，半导体光学检测类型包括了有图形、无图形以及掩膜版检测。其中有图形缺陷检测又分为明场合暗场检测，两者都是通过光信号进行分析，区别在于明场是垂直反射光信号，而暗场是散射光信号。

在半导体光刻工艺中，需要针对不同的掩膜版使用对应的光源。不同的掩膜版应用差异较大，总的可以分为二元掩膜版、相移掩膜版和EUV 掩膜版。EUV掩膜版是专为EUV（极紫外）光刻技术设计的新型掩膜版。鉴于EUV波长极短且易被多种材料吸收的特性，传统的折射元件如透镜无法使用，而是依据布拉格定律，通过多层（ML）结构实现光束的反射（与EUV不同的是，DUV使用的是透射光）。此类掩膜版广泛应用于7nm、5nm、3nm和 2nm（台积电计划2025年量产）高端制造工艺中。

目前来看，掩膜版检测技术主要是光学检测和SEM检测。其中光学检测的企业主要是Lasertec和KLA，而SEM检测则是爱德万。从下游应用来看，只要掩膜版用到保护膜Pellicle，则需要用到EUV掩膜检测设备（换句话而言，只要有EUV光刻机，则必须要用到EUV检测设备），但目前下游终端厂商不一定所有的EUV掩膜版都会与Pellicle一起使用。

在DUV光刻或光学掩模技术中，pellicle（保护膜）扮演着关键角色。掩膜检测工具在193nm的曝光波长下运行，通过这层薄膜执行检查，对于晶圆厂而言，这是一个既直接又高效的流程。然而，在极紫外（EUV）光刻技术方面，掩膜的制造过程需要在专门的掩膜车间进行。此时，对掩膜的检查变得更为复杂，因为它需要一个高分辨率的系统。在晶圆厂环境下，理想状况是使用一层薄膜来保护掩模免受颗粒污染，同时又能让检测系统透过这层薄膜进行工作。如果没有缺陷，则可以继续进行；如果检测到缺陷，则需要移除保护膜pellicle，再将掩膜送到掩膜车间进行清洗。

EUV光罩缺陷检测设备主要用于光罩厂和Fab厂。其中Fab厂包括了光罩产线以及晶圆制造产线。对于Fab厂，采用EUV光罩缺陷检测设备的主要原因有两方面。首先，一旦光罩上贴上了防护膜pellicle，除了EUV检测设备外，其他类型的设备（如电子束或DUV设备）难以达到高灵敏度的检测效果。这是因为防护膜的存在会干扰这些设备的检测能力，使得它们难以准确识别出微小的缺陷。其次，EUV检测设备具有更高的检测精度，能够发现那些传统DUV掩膜检测手段无法捕捉到的缺陷和颗粒。一直以来，光罩厂份额占比相对较大，2023年达到了61%左右。但随着更小的先进工艺节点商业化加速，预计到2030年，Fab厂的份额将达到42%。

目前，EUV光罩缺陷检测设备市场主要被KLA和Lasertec垄断。EUV光罩缺陷检测设备属于高精尖设备，交货时间比较长，比如Lasertec的交期为两年。未来几年，头部这两家企业在EUV光罩缺陷检测市场仍将保持着垄断地位。

，本文主要调研对象包括EUV光罩缺陷检测设备生产商、、上游厂商、下游厂商及中间分销商等，调研信息涉及到EUV光罩缺陷检测设备的销量（产量、出货量）、收入（产值）、需求、价格变动、产品规格型号、新动态及未来规划、行业驱动因素、挑战、阻碍因素及风险等。

本文从如下各个角度进行细分，全面展示行业的整体及局部信息：

全球市场EUV光罩缺陷检测设备主要分类，2019-2024，2025-2030（百万美元）&（件）

全球市场EUV光罩缺陷检测设备主要分类，2023年市场份额

    5-7nm工艺

    3nm及以下工艺

全球市场EUV光罩缺陷检测设备主要应用，2019-2024，2025-2030（百万美元）&（件）

全球市场EUV光罩缺陷检测设备主要应用，2023年市场份额

    光罩厂

    Fab厂

全球市场，主要地区/国家，2019-2024，2025-2030（百万美元）&（件）

全球市场，主要地区/国家，2023年市场份额

    北美

    美国

    加拿大

    墨西哥

    欧洲

    德国

    法国

    英国

    意大利

    俄罗斯

    北欧国家

    比荷卢三国

    其他国家

    亚洲

    中国

    日本

    韩国

    东南亚

    印度

    其他地区

    南美

    巴西

    阿根廷

    其他国家

    中东及非洲

    土耳其

    以色列

    沙特

    阿联酋

    其他国家

竞争态势分析

全球市场主要厂商EUV光罩缺陷检测设备收入，2019-2024（按百万美元计，其中2024年为估计值）

全球市场主要厂商EUV光罩缺陷检测设备收入份额及排名，2019-2024（其中2024年为估计值）

全球市场主要厂商EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额，2019-2024（按件计，其中2024年为估计值）

全球市场主要厂商EUV光罩缺陷检测设备销量份额及排名，2019-2024（其中2024年为估计值）

全球市场主要厂商简介、总部及产地分布、产品规格型号应用介绍等

    Lasertec

    KLA-Tencor

    爱德万

主要章节简要介绍：

第1章: 定义介绍、主要分类、主要应用及研究方法介绍等。

第2章：全球总体规模，历史及未来几年EUV光罩缺陷检测设备销量及总收入。

第3章：全球主要厂商竞争态势，销量、价格、收入份额、新动态、未来计划、并购等。

第4章：全球主要分类，历史规模及未来趋势，销量、收入、价格等。

第5章：全球主要应用，历史规模及未来趋势，销量、收入、价格等。

第6章：全球主要地区、主要国家EUV光罩缺陷检测设备规模，销量、收入、价格等。

第7章：全球主要企业简介，总部及产地分布、产品规格型号及应用介绍、销量、收入、价格、毛利率等。

第8章：全球EUV光罩缺陷检测设备产能分析，包括主要地区产能及主要企业产能。

第9章：行业驱动因素、阻碍因素、挑战及风险分析。

第10章：行业产业链分析，上游、下游及客户等。

第11章：报告总结

标题

报告目录

1 行业定义

    1.1 EUV光罩缺陷检测设备定义

    1.2 行业分类

        1.2.1 按产品类型分类

        1.2.2 按应用拆分

    1.3 全球EUV光罩缺陷检测设备市场概览

    1.4 本报告特定及亮点内容

    1.5 研究方法及资料来源

        1.5.1 研究方法

        1.5.2 调研过程

        1.5.3 Base Year

        1.5.4 报告假设的前提及说明

2 全球EUV光罩缺陷检测设备总体市场规模

    2.1 全球EUV光罩缺陷检测设备总体市场规模：2023 VS 2030

    2.2 全球EUV光罩缺陷检测设备市场规模预测与展望：2019-2030

    2.3 全球EUV光罩缺陷检测设备总销量：2019-2030

3 全球企业竞争态势

    3.1 全球市场EUV光罩缺陷检测设备主要厂商地区/国家分布

    3.2 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备排名（按收入）

    3.3 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备收入

    3.4 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备销量

    3.5 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备价格（2019-2024）

    3.6 全球Top 3和Top 5厂商EUV光罩缺陷检测设备市场份额（按2023年收入）

    3.7 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备产品类型

    3.8 全球梯队、第二梯队和第三梯队厂商

        3.8.1 全球梯队EUV光罩缺陷检测设备厂商列表及市场份额（按2023年收入）

        3.8.2 全球第二、三梯队EUV光罩缺陷检测设备厂商列表及市场份额（按2023年收入）

4 规模细分，按产品类型

    4.1 按产品类型，细分概览

        4.1.1 按产品类型分类 - 全球EUV光罩缺陷检测设备各细分市场规模2023 & 2030

        4.1.2 5-7nm工艺

        4.1.3 3nm及以下工艺

    4.2 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入及预测

        4.2.1 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入2019-2024

        4.2.2 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入2025-2030

        4.2.3 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入份额2019-2030

    4.3 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量及预测

        4.3.1 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量2019-2024

        4.3.2 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量2025-2030

        4.3.3 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量市场份额2019-2030

    4.4 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分价格2019-2030

5 规模细分，按应用

    5.1 按应用，细分概览

        5.1.1 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分市场规模，2023 & 2030

        5.1.2 光罩厂

        5.1.3 Fab厂

    5.2 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入及预测

        5.2.1 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入2019-2024

        5.2.2 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入2025-2030

        5.2.3 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入市场份额2019-2030

    5.3 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量及预测

        5.3.1 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量2019-2024

        5.3.2 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量2025-2030

        5.3.3 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量份额2019-2030

    5.4 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分价格2019-2030

6 规模细分-按地区/国家

    6.1 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备市场规模2023 & 2030

    6.2 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入及预测

        6.2.1 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入2019-2024

        6.2.2 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入2025-2030

        6.2.3 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入市场份额2019-2030

    6.3 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量及预测

        6.3.1 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量2019-2024

        6.3.2 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量2025-2030

        6.3.3 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额2019-2030

    6.4 北美

        6.4.1 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备收入2019-2030

        6.4.2 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备销量2019-2030

        6.4.3 美国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.4.4 加拿大EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.4.5 墨西哥EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

    6.5 欧洲

        6.5.1 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备收入2019-2030

        6.5.2 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备销量2019-2030

        6.5.3 德国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.5.4 法国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.5.5 英国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.5.6 意大利EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.5.7 俄罗斯EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.5.8 北欧国家EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.5.9 比荷卢三国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

    6.6 亚洲

        6.6.1 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备收入2019-2030

        6.6.2 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备销量2019-2030

        6.6.3 中国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.6.4 日本EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.6.5 韩国EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.6.6 东南亚EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.6.7 印度EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

    6.7 南美

        6.7.1 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备收入2019-2030

        6.7.2 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备销量2019-2030

        6.7.3 巴西EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.7.4 阿根廷EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

    6.8 中东及非洲

        6.8.1 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备收入2019-2030

        6.8.2 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备销量2019-2030

        6.8.3 土耳其EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.8.4 以色列EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.8.5 沙特EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

        6.8.6 阿联酋EUV光罩缺陷检测设备市场规模2019-2030

7 企业简介

    7.1 Lasertec

        7.1.1 Lasertec企业信息

        7.1.2 Lasertec企业简介

        7.1.3 Lasertec EUV光罩缺陷检测设备产品规格、型号及应用介绍

        7.1.4 Lasertec EUV光罩缺陷检测设备销量、收入及价格（2019-2024）

        7.1.5 Lasertec新发展动态

    7.2 KLA-Tencor

        7.2.1 KLA-Tencor企业信息

        7.2.2 KLA-Tencor企业简介

        7.2.3 KLA-Tencor EUV光罩缺陷检测设备产品规格、型号及应用介绍

        7.2.4 KLA-Tencor EUV光罩缺陷检测设备销量、收入及价格（2019-2024）

        7.2.5 KLA-Tencor新发展动态

    7.3 爱德万

        7.3.1 爱德万企业信息

        7.3.2 爱德万企业简介

        7.3.3 爱德万 EUV光罩缺陷检测设备产品规格、型号及应用介绍

        7.3.4 爱德万 EUV光罩缺陷检测设备销量、收入及价格（2019-2024）

        7.3.5 爱德万新发展动态

8 全球EUV光罩缺陷检测设备产能分析

    8.1 全球EUV光罩缺陷检测设备总产能2019-2030

    8.2 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备产能

    8.3 全球主要地区EUV光罩缺陷检测设备产量

9 行业趋势、驱动因素、机会及阻碍因素

    9.1 行业机会及趋势

    9.2 行业驱动因素

    9.3 行业阻碍因素

10 EUV光罩缺陷检测设备产业链

    10.1 EUV光罩缺陷检测设备产业链

    10.2 EUV光罩缺陷检测设备上游分析

    10.3 EUV光罩缺陷检测设备下游及典型客户

    10.4 销售渠道分析

        10.4.1 销售渠道

        10.4.2 EUV光罩缺陷检测设备分销商

11 报告总结

12 附录

    12.1 说明

    12.2 本公司典型客户

    12.3 声明

标题

报告图表

表格目录

 表 1： 全球市场EUV光罩缺陷检测设备主要厂商地区/国家分布

 表 2： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备排名（按2023年收入）

 表 3： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 4： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备收入份额（2019-2024）

 表 5： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 6： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额（2019-2024）

 表 7： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备价格（2019-2024）&（美元/件）

 表 8： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备产品类型

 表 9： 全球梯队EUV光罩缺陷检测设备厂商名称及市场份额（按2023年收入）

 表 10： 全球第二、三梯队EUV光罩缺陷检测设备厂商列表及市场份额（按2023年收入）

 表 11： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2023 & 2030）

 表 12： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 13： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 14： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量（件）&（2019-2024）

 表 15： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量（件）&（2025-2030）

 表 16： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2023 & 2030）

 表 17： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 18： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 19： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量（件）&（2019-2024）

 表 20： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量（件）&（2025-2030）

 表 21： 按地区–全球EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2023 & 2030）

 表 22： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 23： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 24： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 25： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2025-2030）

 表 26： 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 27： 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 28： 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 29： 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2025-2030）

 表 30： 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 31： 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 32： 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 33： 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2025-2030）

 表 34： 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 35： 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 36： 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 37： 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2025-2030）

 表 38： 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 39： 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 40： 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 41： 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2025-2030）

 表 42： 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2024）

 表 43： 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2025-2030）

 表 44： 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2019-2024）

 表 45： 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备销量（件）&（2025-2030）

 表 46： Lasertec企业信息

 表 47： Lasertec EUV光罩缺陷检测设备产品规格、型号及应用介绍

 表 48： Lasertec EUV光罩缺陷检测设备销量、收入（百万美元）及价格（美元/件）（2019-2024）

 表 49： Lasertec新发展动态

 表 50： KLA-Tencor企业信息

 表 51： KLA-Tencor EUV光罩缺陷检测设备产品规格、型号及应用介绍

 表 52： KLA-Tencor EUV光罩缺陷检测设备销量、收入（百万美元）及价格（美元/件）（2019-2024）

 表 53： KLA-Tencor新发展动态

 表 54： 爱德万企业信息

 表 55： 爱德万 EUV光罩缺陷检测设备产品规格、型号及应用介绍

 表 56： 爱德万 EUV光罩缺陷检测设备销量、收入（百万美元）及价格（美元/件）（2019-2024）

 表 57： 爱德万新发展动态

 表 58： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备产能（2022-2024）&（件）

 表 59： 全球主要厂商EUV光罩缺陷检测设备产能份额2022-2024

 表 60： 全球主要地区EUV光罩缺陷检测设备产量（2019-2024）&（件）

 表 61： 全球主要地区EUV光罩缺陷检测设备产量（2025-2030）&（件）

 表 62： EUV光罩缺陷检测设备行业机会及趋势

 表 63： EUV光罩缺陷检测设备行业驱动因素

 表 64： EUV光罩缺陷检测设备行业阻碍因素

 表 65： EUV光罩缺陷检测设备原材料

 表 66： EUV光罩缺陷检测设备原材料及主要供应商

 表 67： EUV光罩缺陷检测设备下游

 表 68： EUV光罩缺陷检测设备典型客户

 表 69： EUV光罩缺陷检测设备分销商

图表目录

 图 1： EUV光罩缺陷检测设备产品图片

 图 2： 按产品类型分类，全球EUV光罩缺陷检测设备各细分比重（2022）

 图 3： 按应用，全球EUV光罩缺陷检测设备各细分比重（2022）

 图 4： 全球EUV光罩缺陷检测设备市场概览：2022

 图 5： 报告假设的前提及说明

 图 6： 全球EUV光罩缺陷检测设备总体市场规模：2023 VS 2030（百万美元）

 图 7： 全球EUV光罩缺陷检测设备总体收入规模2019-2030（百万美元）

 图 8： 全球EUV光罩缺陷检测设备总销量：2019-2030（件）

 图 9： 全球Top 3和Top 5厂商EUV光罩缺陷检测设备市场份额（按2023年收入）

 图 10： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2023 & 2030）

 图 11： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入市场份额2019-2030

 图 12： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量市场份额2019-2030

 图 13： 按产品类型分类–全球EUV光罩缺陷检测设备各细分价格（美元/件）&（2019-2030）

 图 14： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入（百万美元）&（2023 & 2030）

 图 15： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分收入市场份额2019-2030

 图 16： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分销量份额2019-2030

 图 17： 按应用 -全球EUV光罩缺陷检测设备各细分价格（美元/件）&（2019-2030）

 图 18： 按地区–全球EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2023 & 2030）

 图 19： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入市场份额2019 VS 2024 VS 2030

 图 20： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备收入市场份额2019-2030

 图 21： 按地区-全球EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额2019-2030

 图 22： 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备收入份额2019-2030

 图 23： 按国家-北美EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额2019-2030

 图 24： 美国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 25： 加拿大EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 26： 墨西哥EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 27： 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备收入市场份额2019-2030

 图 28： 按国家-欧洲EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额2019-2030

 图 29： 德国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 30： 法国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 31： 英国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 32： 意大利EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 33： 俄罗斯EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 34： 北欧国家EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 35： 比荷卢三国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 36： 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备收入份额2019-2030

 图 37： 按地区-亚洲EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额2019-2030

 图 38： 中国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 39： 日本EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 40： 韩国EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 41： 东南亚EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 42： 印度EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 43： 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备收入份额2019-2030

 图 44： 按国家-南美EUV光罩缺陷检测设备销量市场份额2019-2030

 图 45： 巴西EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 46： 阿根廷EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 47： 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备收入市场份额2019-2030

 图 48： 按国家-中东及非洲EUV光罩缺陷检测设备销量份额2019-2030

 图 49： 土耳其EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 50： 以色列EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 51： 沙特EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 52： 阿联酋EUV光罩缺陷检测设备收入（百万美元）&（2019-2030）

 图 53： 全球EUV光罩缺陷检测设备总产能（件）&（2019-2030）

 图 54： 全球主要地区EUV光罩缺陷检测设备产量份额2024 VS 2030

 图 55： EUV光罩缺陷检测设备产业链

 图 56： 销售渠道